| 고속공구 이송시스템 |
Total stroke : 1000um 이상 |
Precitech |
FTS1000 |
| 양식 정확도(P-V) : 1um 이하 |
| 표면 처리 (Ra) : 10um 이하 |
| 폴링싱 머신 |
X*Y*Z (400*200*200)mm |
KURODA |
KRP-2200F |
| 비접촉식 국부표면 측정기 |
수직 해상도 : 0.1nm 미만 |
VEECO |
NT2000 |
| 최대측정범위 : 100mm*100mm |
| 수치방향 측정폭 : 0.1nm-150um |
| 접촉식 표면거칠기 측정기 |
측정범위 : W*H (120mm*20mm) |
Taylor Hobson |
Form Taly-surf series2 |
| 정밀도 : 12.8nm /10mm |
| 레이저 간섭계 |
파장 : 632.8nm |
VEECO |
WYKO6000 |
| 정밀도 : λ/100PV at 632.8nm |
| 5축복합밀링 머신 |
테이블 이송거리(X, Y, Z) : 820*300*450mm |
EXERON |
HSC600 |
| 테이블 작업면적 : 1100*280mm |
| 주측선회각도 : +-90deg |
| 칼자이스 3차원측정기 |
측정범위 : X=700mm Y=700mm Z=600mm |
ZEISS |
Conture G2 |
| 측정정도 : M PE_E=1.8+L/300um, M PE_P=1.8um |
| 비접촉 광학 조면계 |
픽셀 배열 : 1024*1024 |
Taylor Hobson |
CCI-optics |
| RMS 반복성 : <0.2Å |
| 스텝 높이 반복성 : <0.1% |
| MCT 머신 |
테이블 이송거리(X, Y, Z) : 1020*540*530mm |
DOOSAN |
MYNX 5400 |
| 테이블 작업면적 : 1020*540mm |
| CNC 머신 |
척 : 8" |
DOOSAN |
PUM-AGT2100 |
| 최대회전수 : 4500RPM |
| 작업면적(D/L) : Ø390*562mm |
| 헬륨 리크 감지기 |
시험 방법 : 진공과 스니핑 리크 감지 |
Adixen |
ASM142 |
| 헬륨의 최소 누출 감지율 : 5.0*10-13 Pa m^3/s |
