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Gas Cluster Ion Beam

Gas Cluster Ion Beam

1nm 깊이 방향 식각 분해 및 유기물 손상 없이 OLED 다층박막 분석이 가능한 Gas Cluster Ion Beam gun 모듈.

가스 클러스터 이온빔과 시료 충돌 영상

가스 클러스터 이온빔 전체 개념도

가스 클러스터 사이즈 분포 측정 결과

가스 클러스터 이온빔 OLED 박막 깊이 방향 식각 분해능 결과

가스 클러스터 사이즈에 따른 표면 손상 결과