제품

연구장비

Gas Cluster Ion Beam

1nm 깊이 방향 식각 분해 및 유기물 손상 없이 OLED 다층박막 분석이 가능한 Gas Cluster Ion Beam gun 모듈.

가스 클러스터 이온빔 전체 개념도

LEE, Sang Ju, et al. Development of an Argon Gas Cluster Ion Beam for ToF‐SIMS Analysis. Bulletin of the Korean Chemical Society, 2019, 40.9: 877-881.

가스 클러스터 사이즈 분포 측정 결과

LEE, Sang Ju, et al. Development of an Argon Gas Cluster Ion Beam for ToF‐SIMS Analysis. Bulletin of the Korean Chemical Society, 2019, 40.9: 877-881.

가스 클러스터 이온빔 OLED 박막 깊이 방향 식각 분해능 결과
가스 클러스터 사이즈에 따른 표면 손상 결과

TOYODA, Noriaki; YAMADA, Isao. Gas cluster ion beam equipment and applications for surface processing. IEEE Transactions on plasma science, 2008, 36.4: 1471-1488.